Với sự suy giảm của thị trường cắt dây wafer silicon đa tinh thể và đơn tinh thể năng lượng mặt trời, thị trường cắt bột silicon cacbua xanh trong nước đang cực kỳ thu hẹp. Nhưng trong lĩnh vực cắt dây bán dẫn, đặc biệt là cắt vòng tròn bên trong của silicon đơn tinh thể, bởi vì cắt chất lỏng của đường cắt cacbua silicon có thể bảo vệ độ nhẵn của bề mặt wafer được cắt tốt hơn so với đường cắt rắn của đường cắt kim cương, vì vậy bột cacbua silic xanh http://greensiliconcarbide.com Luôn có một vị trí trong ngành bán dẫn. Vì bột cacbua silicon cắt dây bán dẫn có nhiều yêu cầu khác nhau về hiệu suất vật liệu từ hạt mài truyền thống, nên các yêu cầu cao hơn cũng được đặt ra về chất lượng.
- Tiêu chuẩn kích thước hạt cacbua silic xanh
Do việc sản xuất bột cacbua silic trong nước để cắt dây bán dẫn bắt đầu muộn nên các nhà sản xuất chất bán dẫn trong nước ban đầu nhập khẩu sản phẩm từ các nhà sản xuất nổi tiếng ở các nước phát triển, chẳng hạn như ESK ở Đức và FUJIMI ở Nhật Bản. Vì vậy, một số nhà sản xuất bột cacbua silic trong nước hầu hết áp dụng tiêu chuẩn Châu Âu (FEPA), tiêu chuẩn Nhật Bản (JlS) và tiêu chuẩn Mỹ (ANSI).
Tuy nhiên, vì hầu hết bột cacbua silicon cắt dây bán dẫn trong nước được xuất khẩu sang Nhật Bản nên tiêu chuẩn Nhật Bản được áp dụng rộng rãi trong nước. Sự khác biệt lớn nhất giữa tiêu chuẩn trong nước và nước ngoài là chỉ số kích thước hạt được áp dụng ở nước ngoài đã tăng D0 (kích thước hạt tối đa), trong khi tiêu chuẩn trong nước thì không. Ở giai đoạn này, tiêu chuẩn trong nước vẫn chủ yếu nằm ở tiêu chuẩn của hạt mài và hạt mài thông thường.
Ngành công nghiệp bán dẫn đòi hỏi sự phân bố cỡ hạt của bột cacbua silic xanh phải được cô đặc càng nhiều càng tốt để đáp ứng các yêu cầu về độ chính xác của việc cắt dây.
- Thành phần hóa học của cacbua silic xanh
Thành phần hóa học có ảnh hưởng đến dạng tinh thể và hiệu quả sử dụng của bột cacbua silic. Thành phần hóa học càng cao, hiệu suất tổng thể càng tốt.
- Hình dạng hạt của cacbua silic xanh
Là một loại bột vi mô cắt dây dùng cho chất bán dẫn, hình dạng hạt sẽ có ảnh hưởng đáng kể đến hiệu quả xử lý mẫu. Nói chung, khác với cơ chế mài được sử dụng trong quá trình mài, bột cacbua silic được sử dụng để cắt dây bán dẫn bắt buộc phải có một giá trị độ tròn nhất định và các hạt phải có các cạnh và góc sắc nét.
- Mật độ khối lượng lớn của cacbua silic xanh
Mật độ khối lượng lớn là một chỉ số quan trọng khác của bột cacbua silic. Khi kích thước hạt của bột vi carborundum ở mức micrômet, diện tích bề mặt, năng lượng bề mặt và năng lượng liên kết bề mặt của nó tăng lên nhanh chóng. Các yếu tố chính ảnh hưởng đến mật độ khối của bột vi mô là diện tích bề mặt riêng, năng lượng bề mặt, năng lượng liên kết bề mặt và lực tương tác giữa các hạt.
- Độ sạch của cacbua silic xanh
Do phoi có yêu cầu cao về độ sạch của bề mặt nên nếu bề mặt phoi bị nhiễm tạp chất thì sản phẩm có thể bị loại bỏ. Khi cắt hoặc đánh bóng phoi dễ mang theo tạp chất nên độ sạch bề mặt của bột cắt dây bán dẫn tương đối cao. Bột cacbua silic xanh sẽ tạo ra một phần cacbon trong quá trình nấu chảy. Trong quá trình sàng lọc sau đó, mặc dù silic cacbua thô được ngâm, sau khi nghiền tiếp, vẫn còn một phần cacbon tự do trong khối cacbit silic. Quy trình sản xuất bột cacbua silic xanh là tẩy rửa sau khi nghiền, tránh cacbon tự do còn sót lại trong mô và độ tinh khiết cao hơn (có thể đạt hơn 99% SiC)
- Hàm lượng dư lượng axit và kiềm của bột cacbua silic xanh
Quá trình sản xuất chung của bột vi mô là quá trình ngâm. Trong toàn bộ quá trình, nếu rửa nước không đủ kỹ, dư lượng axit và tạp chất sẽ để lại trên bề mặt của các hạt vi hạt. Những dư lượng này có thể không rõ ràng trong giai đoạn vi nguyên liệu, nhưng nếu nó được tạo thành một sản phẩm, nó sẽ cho thấy sự khác biệt về hiệu suất, điều này sẽ ảnh hưởng đến sản phẩm. chất lượng.