Micron silic cacbua xanh để đánh bóng vật liệu PZT

Micrô cacbua silic xanh là một loại phi kim loại mài mòn có độ cứng cao, độ bền cơ học cao. Nó có thể tạo ra một sự mài mòn tích cực. Cacbua silic xanh có những ưu điểm tuyệt vời để mài vật liệu PZT ( gốm áp điện ).

PZT là một vật liệu gốm có chức năng chuyển đổi năng lượng cơ học và năng lượng điện cho nhau. Chúng được sử dụng rộng rãi trong quang học, chất bán dẫn, dụng cụ và các lĩnh vực khác. Tuy nhiên, gốm sứ giòn và khó gia công bằng áp điện. Trong giai đoạn xử lý bề mặt sau này của gốm sứ PTZ, máy đánh bóng hai mặt được sử dụng để mài và đánh bóng tấm wafer PZT. Nói chung, việc xử lý bề mặt của PZT, chẳng hạn như làm nhám và mài phân cấp, được thực hiện với cacbua silic xanh 50 micron, 40 micron, 20 micron và 14 micron. Sau khi làm nhám, bề mặt tấm wafer đồng nhất, không bị trầy xước, độ nhám có thể đạt 1,2-1,5um. Trong công đoạn đánh bóng và nghiền mịn, các loại bột corundum trắng 14 micron, 7 micron và 5 micron được lựa chọn để nghiền mịn. Độ nhám của sản phẩm sau khi đánh bóng nhỏ hơn 50nm.

Để đạt được hiệu quả mài đánh bóng mà không có vết xước, kích thước hạt mài mòn silic cacbua xanh cần được kiểm soát chặt chẽ. Trong tình huống này, kích thước hạt phải càng giống nhau càng tốt và phạm vi kích thước hạt phải hẹp. Nếu có các hạt lớn dễ làm hỏng bề mặt sứ. Nếu có nhiều hạt mịn sẽ làm giảm hiệu quả xay. Do đó, bột cacbua silic màu xanh lá cây được phân loại bằng cách rửa nước tràn là chất mài mòn thích hợp.